01 Puddle Developer

本设备由Operator供应Turn Table,通过涂覆/曝光的光致抗蚀剂对涂覆的玻璃基板进行显影和干燥，并且在显影完成时通过呼叫操作员卸载显影的玻璃基板。

02 Mini Developer (2Bath, 3Bath)

该设备由操作员提供给托盘, 用Photo Resist对涂覆的玻璃基板进行显影和干燥，然后在开发完成后通过致电操作员卸载开发的玻璃基板。

03 Pump Develop Simulation