01 Puddle Developer

본 장치는 Operator에 의하여 Turn Table에 공급 되어진 Photo Resist가 도포/노광된 Glass 기판을 Develop 이용하여 현상 및 건조하고, 현상이 완료 되면 Operator를 Call하여 현상 완료된 Glass 기판을 Unloading 한다.

02 Mini Developer (2Bath, 3Bath)

본 장치는 Operator에 의하여 Tray에 공급 되어진 Photo Resist가 도포/노광된 Glass 기판을 Developer를 이용하여 현상 및 건조하고, 현상이 완료 되면 Operator를 Call하여 현상 완료된 Glass 기판을 Unloading 한다.

03 Pump Develop Simulation